壓力傳感器是使用廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
我們在選擇壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說什么原因會造成傳感器的誤差呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準,盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
跟隨傳感器技術發(fā)展趨勢,順應物聯(lián)網(wǎng)快速發(fā)展帶來的機會,公司將嵌入式SOC片上系統(tǒng)與網(wǎng)絡通訊、模擬\數(shù)字信號處理結合,研發(fā)出基于SOC技術的高性能物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(前端)平臺?;赥CP/IP千兆MCU瞬態(tài)信號測試系統(tǒng)、測時測速用于多個國防重點科研項目。
系列智能壓力/復合型傳感器,突破了高性能壓力傳感器補償、矯正等技術瓶頸,其穩(wěn)定性、可靠性達到并部分指標優(yōu)于國外產(chǎn)品,打破了國外在高精度壓力傳感器(科研)上的壟斷。成都智能傳感器專委會委員,《模型試驗中水沙測量儀器數(shù)據(jù)交互通用規(guī)約》起草人之一。