MEMS技術(shù)的主要優(yōu)勢有：
? 體積小，重量輕
? 量程小，小到幾個kpa的壓力
? 具有很高的精度
? 可以做出絕壓、表壓、壓差，選擇柔性高
? 更適合大批量和高效率的生產(chǎn)
MEMS產(chǎn)品是采用MEMS技術(shù)將感壓單元和信號處理芯片集成在一個只有幾毫米的MEMS芯片上，后期進(jìn)行必要的封裝而來。MEMS產(chǎn)品在我們的生活中隨處可見，如電子血壓計里面的感壓單元，手機(jī)麥克風(fēng)，數(shù)碼相機(jī)的光學(xué)防抖所用的陀螺儀等。
MEMS測量壓力的原理
MEMS測量壓力的原理是在感壓膜片上集成幾個MEMS壓敏電阻，這幾個壓敏電阻通過綁線實現(xiàn)與外部的電氣連接，并組成一個惠斯通電橋。
惠斯通電橋
當(dāng)壓力作用在感壓膜片上后，產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力，使得橋臂電阻發(fā)生變化，并通過外部電路將這個微小的電壓變化進(jìn)行放大和處理，最終輸出正比于壓力的電壓或者數(shù)字信號。
MEMS工作原理
關(guān)于壓差傳感器的選型，需要根據(jù)應(yīng)用需求的不同，主要考慮壓力量程、使用溫度、輸出信號格式、上下拉電阻、精度這五點。另外，根據(jù)不同的安裝需求，如螺栓孔的數(shù)量、壓力端口的直徑以及接插件型號等，可以選擇不同外形的壓差傳感器。